Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축 사업 기술지원기업 모집 공고

기업마당 · 산업통상부

지원 대상

중소기업

지원 내용

구 분 지원프로그램 내용 기술 지원 시제품제작 o 시제품 제조를 위한 합성공정 등 개발 o 시제품 제조에 필요한 원료 및 재료 등 지원 o 1기업당 15,000천원 이내 지원 기술지도 o EUV PR 소재 물성평가 후 결과분석 및 공정 최적화 (신규 구축 장비 및 기존 장비 활용) 물성평가 지원 o EUV용 고해상도 유/무기 PR 개발품의 순도 확인과 정성 분석, 정량 확인 등 제공 지원 장비 o 시제품 제작 & 기술지도 - 회분식 반응기(60L~1,000L), 미세유체 반응시스템 및 연속흐름 반응 시스템 o 물성평가 지원 - HPLC, 나노입도분석기, 분산안정도측정기, 수분측정기, 오토클레이브, 다중결정화스크리닝 시스템 -- 1 of 5 -- - 2 - □ 지원절차 ① 사업공고 ▶ ② 신청접수 ▶ ③ 선정평가 ▶ (공고)재단 홈페이지 신청기업→대전TP 대전TP(선정평가위원회) ④ 유사과제 중복성 검토 ▶ ⑤ 결과통보 ▶ ⑥ 협약체결 ▶ 국가과학기술지식정보서비스 (NTIS) 대전TP→지원기업 대전TP-선정기업 ⑦ 과업수행 ▶ ⑧ 결과보고 및 최종평가 ▶ ⑨ 성과조사 등 사후관리 선정기업 최종평가(성공/실패) 대전TP □ 참고사항 ○ 필요시, 장비 지원에 따른 공정 데이터 비밀유지 협약서 작성 ○ 기술지원은 일괄로 지원되며 개별적으로 선택 불가 ○ 공정 데이터(수집, 저장, 분석), 분석모델 및 방법론 등 저장 데이터 제공 Ⅱ 신 청 ... 운영 지역: 강원, 경기, 경남, 경북, 광주, 대구, 대전, 부산, 서울, 세종, 울산, 인천, 전남, 전북, 제주, 충남, 충북

지역

서울 · 부산 · 대구 · 인천 · 광주 · 대전 · 울산 · 세종 · 경기 · 강원 · 충북 · 충남 · 전북 · 전남 · 경북 · 경남 · 제주

유형

기술

신청 기간

2026-07-20 ~ 2026-11-20 (D-35)